대용량 Excel 처리 시 C드라이브 용량 문제 문의

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안녕하세요,
Excel Application Scope를 이용해서 100MB 전후 용량의 파일을 읽고 쓰고 피벗 생성하는 등의 작업을 하고 있는데요, 작업을 몇 번씩 하고 나면 C드라이브 용량이 줄어들면서 나중엔 100MB도 남지 않는 경우가 발생합니다.

임시파일을 삭제하거나 리부팅을 해도 용량이 거의 차이가 없는데 저와 같은 문제를 경험해보신 분 계실까요?